三協半導體硅片取放機械手0190-52910

 

       收到一套三協半導體硅片取放機械手,本體0190-52910,控制柜0190-46909。

       客戶說發生了撞機,沒能檢查出原因。長科維修師傅經過拆機檢查,上電檢測,最終鎖定異常,原因是三軸電機編碼器和控制柜通訊板發生了故障。

 

三協半導體硅片取放機械手0190-52910

 

半導體機器人可參與的工作內容:

1、晶圓粗研磨(雙面機械拋光)

半導體機器人將晶圓放置在上下研磨夾具之間,晶圓進行旋轉,同時研磨機對研磨夾具內進行磨料送料,進行兩面拋光。

 

三協半導體硅片取放機械手0190-52910

 

2、晶圓氧化處理

半導體機器人將晶圓放置在擴散爐中進行熱處理,通過高溫氧化處理使晶圓表面形成氧化層。

 

三協半導體硅片取放機械手0190-52910

 

3、晶圓清洗

半導體機器人將晶圓放置在清洗臺上,用化學藥劑和超純水清洗晶圓,以進行下一步高潔凈度、高良率的芯片制造制程。

 

三協半導體硅片取放機械手0190-52910

 

4、晶圓檢查

半導體機器人將晶圓放置在晶圓AOI檢測器里,對晶片表面進行光學外觀檢查,檢查晶圓的平整度、厚度與氧化膜厚度。

 

三協半導體硅片取放機械手0190-52910

5、晶圓包裝

半導體機器人將晶圓進行保護膜覆膜,并將覆膜完成的晶圓被放置在晶圓運輸箱中。